|
advertisement |
|
|
|
|
|
|
Aerospace Instrument-Making Annotation << Back
THE EFFECT OF MMG MANUFACTURING ERRORS ON IT`S MECHANICAL PROPERTIES AND VIBRATIONS |
A.N. Kostornoy
This paper considers the effect of MMG sensing element manufacturing errors on its mechanical properties and accuracy characteristics. A computer simulation of these errors infl uence on the sensitive element has been done.
Key words: MEMS, inaccuracies, stresses.
Contacts: E-mail: itt@inertech.ru
Pp. 03-09. |
|
|
|
Last news:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |