Авиакосмическое приборостроение Аннотация к статье << Назад Конструктивные возможности снижения температурных погрешностей МЭМС-акселерометра Коновалов С.Ф. Майоров Д.В. Подчезерцев В.П. Пономарев Ю.А. Денисов Р.А. Меркулов В.А. Сивов В.А. Юрманов С.Ю. В работе приведен анализ конструктивных возможностей снижения влияния на характеристики МЭМС-акселерометра температурных деформаций чув-ствительного элемента. По результатам анализа представлена конструкция прибора, особенностью которого является то, что подвижная лопасть ма-ятника выполнена в виде коромысла и подвешена в установочном кольце ма-ятникового узла посредством двух крестовидных растяжек и для уменьше-ния влияния на стабильность нулевого сигнала акселерометра температур-ных деформаций установочного кольца маятникового узла, вызванных разно-стью температурных коэффициентов расширения кремния и материала от-ветных пластин, крестовидные растяжки фиксируются в кольце с помощью дополнительных хорд. На изолированной поверхности лопасти маятника вы-полнены спиральные печатные обмотки дифференциального компенсацион-ного датчика момента и подвижные электроды емкостного датчика угла. Рассмотрены два варианта размещения магнитных систем, приведены ре-зультаты моделирования магнитных полей, позволяющие определить опти-мальную конфигурацию магнитопроводов и оптимальных участков размеще-ния спиральных систем. Приведены результаты экспериментального иссле-дования представленной конструкции гибридного компенсационного маятни-кового акселерометров. Ключевые слова: акселерометр, кремниевый упругий подвес, тепловые деформации, компенсация, ударопрочность. Контактная информация: E-mail: maord@beelinewifi.ru Стр. 08-15.